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SH-IVD
用 途
- 空気分離プラント
- フェライト焼却炉
- 酸素富化装置
- ガス置換監視
- ガス純度管理(N2,He,Ar,…)
- 鉄鋼・金属等の熱処理(無酸化炉)
- 特殊金属溶接雰囲気ガス(溶接工程)
- 半導体プロセス雰囲気ガス
- シール用不活性ガス
仕 様
形 式 | SH-IVD | |
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測定原理 | ジルコニア濃淡電池方式 | |
外形寸法 | 202(W)×165(H)×342(D) | |
パネルカット | 190(W)×150(H) | |
レンジ | 16レンジのうち2レンジ選択(0~1、2、5、10、25、50、100%O2) (0-10、20、50、100、200、500、1,000、2,000、5,000ppm) |
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出 力 | DC4~20mA、DC0~10mVまたはDC4~20mA、DC0~1Vのいずれかを選択 | |
サンプルガス流量 | 500ml/min | |
サンプルガス圧力 | 3~100kPa(G)(サンプルガス流量500ml/min時) 3kPa(G)以下の場合はポンプが必要です。100kPa(G)以上の場合は減圧弁が必要です。 |
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サンプルガス条件 | 可燃性ガス、腐食性ガスが含まれないこと、周囲温度にて結露しないこと。 | |
精度 | 繰返し性 | %レンジ:±0.5%FS ppmレンジ:±1%FS |
直線性 | ±0.5FS以下(%レンジ) ±1ppm以下(0-10ppmレンジ) ※ただし、レンジに合った標準ガスで校正を行った場合に限ります。 |
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応答時間 | %レンジ:5秒以内(90%応答) ppmレンジ:10秒以内(90%応答) | |
周囲温度 | -5~40℃ | |
電源電圧 | AC100V±10% 50/60Hz 200VA | |
重 量 | 約6kg |
TF-SD201R
AS-210型 センサ
DTF-201R型 受信器
- センサ、受信器の分離可能
- サンプリング部材を組合せ自立盤式も可能
- 標準ガス、基準エアが不要(エア1点校正可能)
- 還元域測定タイプもあります
用 途
酸化燃焼排ガス酸素濃度測定
- 中小型ボイラ
- 中小型工業用加熱炉
- コークス炉
- 熱処理炉(ラジアントチューブ炉)
還元燃焼排ガス雰囲気濃度測定
- 窯業炉(シャトル炉)
- 窯業炉(トンネル炉)
- セラミック原料焼成炉(ロータリーキルン)
仕 様
形 式 | TF-SD201R(AS-210型センサ+DTF-201R型受信器) | |
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測定原理 | ジルコニア2セルポンプ方式 | |
測定レンジ | 0~5、10、25% / -15~25、-6~10、-3~5% | |
精度 | 繰返し性 | ±1%FS(0~5%、マイナス%) ±0.5%FS(0~10、25%) |
直線性 | ±2%FS(0~5%、マイナス%) ±1%FS(0~10、25%) | |
出力 | 第1出力 | DC4~20mA |
第2出力 | DC0~1V、0~5V、0~10Vのいずれか選択 | |
応答時間 | 10秒以内(校正ガス切替による90%応答) | |
警報表示 | 受信器にエラー番号にて内容表示 | |
暖機時間 | 3分 | |
電源 | AC100VまたはAC200V 50/60Hz 約50VA | |
外形寸法 | 96(W)×96(H)×170(D)(受信器) |
TF-21D201/SH-30シリーズ
TF-21型 センサ / DTF-201型 受信器
SH-304型
- センサ、受信器の分離可能
- 軽量、コンパクト 装置への組込み可能
- 低濃度(0-10ppmレンジ対応)
用 途
- 半導体製造装置:拡散炉・RTP・各種N2炉内雰囲気測定、空気分離装置
仕 様
形 式 | TF-21D201(TF-21型センサ+DTF-201型受信器) | |
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センサ | TF-21 | |
受信器 | DTF-201 | |
測定原理 | ジルコニア濃淡電池方式 | |
測定レンジ | Min.0-10ppm ~ MAX.0-100% ゼロ点固定で任意の4レンジ選択可能 | |
校 正 | エア点 + MAX.4点校正可能 | |
出 力 | DC4~20mA × 1点(非絶縁出力、負荷抵抗600Ω以下) DC0~1V or DC0~5V or DC0~10V × 1点選択(非絶縁出力) |
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サンプルガス・ 校正ガス流量 | 0.5±0.02L/min. | |
精 度 | 繰返し性 | ±1%FS(0~1%レンジ未満) ±0.5%FS(0~1%レンジ以上) |
直線性 | ±1%FS(0~1%以上)±2%FS(0~1%未満) ±3%FS(0~100ppm未満) | |
応答時間 | 0-1%以上:10秒以下 0-1%未満:30秒以下 ※校正ガス切替による90%応答 | |
ドリフト | ±2%FS/週 以下 | |
供給電源 | AC85~132V ※オプション:AC170~264V、DC24V±10% | |
接点入力 (無電圧接点入力) | レンジ切替入力 | |
接点出力 (オープンコレクタ出力、 DC25V,max50mA NO/NC切替可能) |
分析計異常 レンジエコーバック(2レンジ識別) レンジエコーバック(3レンジ識別) READY 濃度上限警報(0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能) 濃度下限警報(0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能) ※上記より4点選択、設定変更可能 |
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レンジ切替 | ローカルレンジ切替 / リモートレンジ切替 / オートレンジ切替 ※上記より選択、設定変更可能 |
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出力HOLD設定 | 無し or 任意の値 or 異常発生5秒前の値でHOLD ※暖機時、センサ及び受信器の異常発生時にHOLD |
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濃度上下限警報 | 上限警報:0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能 下限警報:0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能 |
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RS232C通信機能 | 測定状態、エラーコード、測定レンジ、測定値を送信 通信ケーブル仕様:ストレートケーブル |
形 式 | SH-304 | |
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センサ | TF-21 | |
受信器 | DTF-201 | |
測定原理 | ジルコニア濃淡電池方式 | |
測定レンジ | 0-10 / 100 / 1,000ppm,0-100% ※min.0-10ppm ~ MAX.0-100% ゼロ点固定で任意の4レンジ選択可能 |
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校 正 | エア点 + MAX.4点校正可能 | |
出 力 | DC4~20mA × 1点(非絶縁出力、負荷抵抗600Ω以下) DC0~1V × 1点(非絶縁出力) |
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サンプルガス・ 校正ガス流量 | 0.3±0.05L/min. | |
精 度 | 繰返し性 | ±1%FS(0~1%レンジ未満) ±0.5%FS(0~1%レンジ以上) |
直線性 | ±3%FS(0~100ppm未満) ±2%FS(0~1%未満) ±4%FS(0~1%以上) | |
応答時間 | 0-1%以上:10秒以下 0-1%未満:30秒以下 ※校正ガス切替による90%応答 | |
ドリフト | ±2%FS/週 以下 | |
供給電源 | DC24V±10% | |
接点入力 (無電圧接点入力) | レンジ切替入力 | |
接点出力 (オープンコレクタ出力、 DC25V,max50mA NO/NC切替可能) |
分析計異常 READY 濃度上限警報(0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能) 濃度下限警報(0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能) レンジエコーバック(2レンジ識別) レンジエコーバック(3レンジ識別) ※上4項目が標準、下2項目も設定変更可能です。 |
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レンジ切替 | オートレンジ切替 ※リモートレンジ、ローカルレンジ切替も選択、設定変更可能 |
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出力HOLD設定 | 異常発生5秒前の値でHOLD ※暖機時、センサ及び受信器の異常発生時にHOLD ※HOLD無、任意の値にHOLDも選択可能です。 |
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濃度上下限警報 | 上限警報:0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能 下限警報:0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能 |
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RS232C通信機能 | 測定状態、エラーコード、測定レンジ、測定値を送信 通信ケーブル仕様:ストレートケーブル |
TF-30/SH-20シリーズ
TF-30型 センサ / DTF-201型 受信器
SH-204-AW
- センサ、受信器の分離可能
- 軽量、コンパクト 装置への組込み可能
- 標準ガス、基準エアが不要(エア1点校正可能)
用 途
- リフロー炉
- フェライト焼成炉
- その他雰囲気管理・燃焼管理用途
仕 様
形 式 | TF-30D201(TF-30型センサ+DTF-201型受信器) | |
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センサ | TF-30 | |
受信器 | DTF-201 | |
測定原理 | ジルコニア2セルポンプ方式 | |
測定レンジ | Min.0-100ppm ~ MAX.0-25% ゼロ点固定で任意の4レンジ選択可能 ※25% O2以上は測定不可です。 |
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校 正 | 校正ガスによるエア点 + MAX.3点校正 エア 1点校正(0-1,000ppm以上) DATA入力による校正(0-1,000ppm以上、センサ交換時) |
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出 力 | DC4~20mA × 1点(非絶縁出力、負荷抵抗600Ω以下) DC0~1V or DC0~5V or DC0~10V × 1点選択(非絶縁出力) |
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サンプルガス・ 校正ガス流量 | 0.5±0.1L/min. | |
精 度 | 繰返し性 | ±1%FS |
直線性 | ±2%FS | |
応答時間 | 0-1,000ppm以上:30秒以下 0-1,000ppm未満:60秒以下 ※校正ガス切替による90%応答 | |
ドリフト | ±2%FS/週 以下 | |
供給電源 | AC85~132V ※オプション:AC170~264V、DC24V±10% | |
接点入力 (無電圧接点入力) | レンジ切替入力 | |
接点出力 (オープンコレクタ出力、 DC25V,max50mA NO/NC切替可能) |
分析計異常 レンジエコーバック(2レンジ識別) レンジエコーバック(3レンジ識別) READY 濃度上限警報(0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能) 濃度下限警報(0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能) ※上記より4点選択、設定変更可能 |
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レンジ切替 | ローカルレンジ切替 / リモートレンジ切替 / オートレンジ切替 ※上記より選択、設定変更可能 |
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出力HOLD設定 | 無し or 任意の値 or 異常発生5秒前の値でHOLD ※暖機時、センサ及び受信器の異常発生時にHOLD |
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濃度上下限警報 | 上限警報:0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能 下限警報:0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能 |
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RS232C通信機能 | 測定状態、エラーコード、測定レンジ、測定値を送信 通信ケーブル仕様:ストレートケーブル |
形 式 | SH-204-CW | |
---|---|---|
センサ | TF-30 | |
受信器 | DTF-201 | |
測定原理 | ジルコニア2セルポンプ方式 | |
測定方法 | エゼクタ吸引式(ポンプ内蔵モデルもあり) | |
測定レンジ | Min.0-100ppm ~ MAX.0-100% ゼロ点固定で任意の4レンジ選択可能 ※25% O2以上は測定不可です。 |
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校 正 | 校正ガスによるエア点 + MAX.3点校正 エア 1点校正(0-1,000ppm以上) DATA入力による校正(0-1,000ppm以上、センサ交換時) |
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出 力 | DC4~20mA × 1点(非絶縁出力、負荷抵抗600Ω以下) DC0~1V or DC0~5V or DC0~10V × 1点選択(非絶縁出力) |
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サンプルガス・ 校正ガス流量 | 0.5±0.1L/min. | |
精 度 | 繰返し性 | ±1%FS |
直線性 | ±5%FS | |
応答時間 | 0-1,000ppm以上:30秒以下 0-1,000ppm未満:60秒以下 ※校正ガス切替による90%応答 | |
ドリフト | ±2%FS/週 以下 | |
供給電源 | AC100~240V±10% 50/60Hz | |
接点入力 (無電圧接点入力) | レンジ切替入力 | |
接点出力 (オープンコレクタ出力、 DC25V,max50mA NO/NC切替可能) |
分析計異常 レンジエコーバック(2レンジ識別) レンジエコーバック(3レンジ識別) READY 濃度上限警報(0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能) 濃度下限警報(0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能) ※上記より4点選択、設定変更可能 |
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レンジ切替 | ローカルレンジ切替 / リモートレンジ切替 / オートレンジ切替 ※上記より選択、設定変更可能 |
|
出力HOLD設定 | 無し or 任意の値 or 異常発生5秒前の値でHOLD ※暖機時、センサ及び受信器の異常発生時にHOLD |
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濃度上下限警報 | 上限警報:0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能 下限警報:0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能 |
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