ジルコニア式酸素分析計（O2計）
SH-30シリーズ
製品の主な特徴
- センサ、受信器、サンプリング機構、フィルタが一体化された構造により、設置後すぐに測定可能
- 軽量かつ小型で、各種装置への設置が容易
- 微量濃度測定に対応（最小：0～10ppmレンジ）
用途
- 半導体製造装置、各種N2炉内雰囲気測定、空気分離装置
仕様
| 形式 | SH-30＊シリーズ | |
|---|---|---|
| センサ | TF-21 | |
| 受信器 | DTF-201 | |
| 測定原理 | ジルコニア濃淡電池方式 | |
| 測定レンジ |
Min.0～10ppm ～ MAX.0～25％ ゼロ点固定で任意の4レンジ選択可能 ※出力レンジ設定は 0～10ppm ～ 0～100％まで設定可能 |
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| 校正 | エア点 ＋ MAX.4点校正可能（測定レンジ毎の校正が可能） | |
| アナログ出力 |
DC 4～20mA 非絶縁出力、負荷抵抗600Ω以下 DC 0～1V / DC 0～5V/ DC 0～10V 1点選択（非絶縁出力） |
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| サンプルガス・ 校正ガス流量 | 0.3L/min、0.5L/min | |
| 精度 | 繰返し性 | ±1％FS（0～1％レンジ未満）、±0.5％FS（0～1％レンジ以上） |
| 直線性 | ±3％FS（0～100ppmレンジ未満）、±2％FS（0～1％レンジ未満）、±4％FS（0～1％レンジ以上） | |
| 応答時間 | 30秒以下（0～1％レンジ未満）、10秒以下（0～1％レンジ以上）（校正ガス切替による90％応答） | |
| ドリフト | ±2％FS/週 以下 | |
| 供給電源 |
AC仕様：AC 100～240V±10％ 50/60Hz 50VA DC仕様：DC 24V±10％ 50W |
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| 接点入力 | レンジ切替（無電圧接点） | |
| 接点出力 |
無電圧リレー接点出力（AC 30V 、DC24V 3A 抵抗負荷） 接点数：最大4出力 選択内容：レンジエコーバック1/レンジエコーバック2/濃度上限警報/濃度下限警報 |
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| レンジ切替 | ローカルレンジ切替 / リモートレンジ切替 / オートレンジ切替 | |
| 出力ホールド機能 |
出力ホールド値設定：ホールド無し※ / 任意の値 / 異常発生5秒前の値 ※暖機中、分析計異常発生中はホールド |
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| 濃度上下限警報 |
上限警報：0.0～9990.0ppm or 0.0～100.0％ 設定可能 下限警報：0.0～9990.0ppm or 0.0～100.0％ 設定可能 |
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| 通信機能 |
機種により通信機能が異なります。（RS-232C通信、EtherCAT®通信など） 詳細はお問合せください。 |
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注）上記表は代表的な仕様です。機種ごとに仕様は異なりますので、詳細はお問い合わせください。
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